真空燒結爐的常用元件： 真空燒結爐常用石墨件件有石墨立柱、石墨連接片、石墨風管、石墨導電桿、石墨床板、石墨加熱棒、石墨螺母、石墨橫梁、石墨氈等制品。 真空燒結爐主要用于半導體元器件和功率整流器件的燒結過程，可用于真空燒結、氣體保護燒結和常規(guī)燒結。它是特種半導體設備系列中的一種新型工藝設備。設計理念新穎，操作方便，結構緊湊，可在一臺設備上完結多種工藝流程。也可用于其他范疇的真空熱處理、真空釬焊等工藝。
