真空爐即在爐腔這一特定空間內(nèi)利用真空體系(由真空泵、真空丈量設(shè)備、真空閥門等元件通過(guò)精心拼裝而成)將爐腔內(nèi)部分物質(zhì)排出，使?fàn)t腔內(nèi)壓強(qiáng)小于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，爐腔內(nèi)空間從而實(shí)現(xiàn)真空狀況，這便是真空爐。
在挨近真空狀況下通過(guò)電熱元件加熱的工業(yè)爐、實(shí)驗(yàn)爐。真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛頂用管道與高真空泵體系聯(lián)接。爐膛真空度可達(dá)133×(10-2～10-4)Pa。爐內(nèi)加熱體系可直接用硅碳棒或硅鉬棒通電加熱，也可用高頻感應(yīng)加熱。最高溫度可達(dá)2000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷、金屬封接等。
真空爐是在真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備，一般由爐膛、電熱設(shè)備、密封爐殼、真空體系、供電體系和控溫體系等組成。真空爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應(yīng)爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐和等離子爐等。
